Prinsip perancangan gerbang semikonduktor : teori dan proses pembuatan
Author
Saludin
Additional Author(s)
-
Publisher
Jakarta: Mitra Wacana Media, 2015
Language
Indonesian
ISBN
9786023180622
Series
Subject(s)
SEMICONDUCTORS
SEMICONDUCTORS-PHYSICAL MODELS
Notes
. Bibliography: p. 271-273.
Abstract
adapun isi buku ini mencakup antara lain: persiapan bahan silikon, pengantar teori gerbang semikonduktor, persiapan permukaan, implantasi ion, difusi dopant, dan oksida dan dielektrik gerbang.